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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CCI LITE
  • 產(chǎn)品廠商：英國(guó)TAYLOR HOBSON
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI（磚利技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測(cè)分析并生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告
詳情介紹：
英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀： CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI（磚利技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測(cè)分析并生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告；
英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀： 
1.      減震基座及立柱：
  鑄鋁基座：結(jié)合氣浮減震,提高測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)精度
 鋼結(jié)構(gòu)立柱：提高測(cè)量回路的堅(jiān)固性和穩(wěn)定性,降低外部震動(dòng)影響
 
2. 系統(tǒng)參數(shù)
   (1) 干涉類型 ：   CCI 干涉，泰勒霍普森磚利相干相關(guān)算法
   (2) 測(cè)量量程：    2.2mm(標(biāo)準(zhǔn)), >10mm是采用數(shù)據(jù)拼接
   (3) 分辨率：        0.1 A
   (4) RMS重復(fù)性：   <0.02nm
   (5)垂直掃描速度： 7 um/s
   (6) 測(cè)量點(diǎn)數(shù)：        1 1024 x 1024 點(diǎn)陣
   (7) X Y 軸單次測(cè)量范圍： 0.36 – 7.2 mm
      (8) X Y 軸分辨率：         0.4-0.6um（
   (9) 臺(tái)階高度的重復(fù)性： >0.1 %
   (10)系統(tǒng)噪音：                  <0.08nm
   (11)測(cè)量時(shí)間：                 典型樣品5-20秒
(12) 被測(cè)件的反射率：     0.3 –100%
 
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